Nous maîtrisons la chaleur ! | 200 |℃ 2200
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| Lieu d'origine: | La Chine |
| Nom de marque: | Brother Furnace |
| Certification: | CE |
| Numéro de modèle: | BR-PECVD |
| Quantité de commande min: | 1 jeu |
|---|---|
| Prix: | Negotiation |
| Détails d'emballage: | Boîte en bois forte pour l'expédition globale |
| Délai de livraison: | 7-21 jours ouvrables |
| Conditions de paiement: | L / C, T / T, Western Union |
| Capacité d'approvisionnement: | 200 ensembles par mois |
| Température maximale: | 1200℃ | Vide normal: | -0.1Mpa |
|---|---|---|---|
| Vide maximum: | Pompe moléculaire de configuration, PA du vide 7x10-4 (facultative) | Bride: | bride de cachetage de l'acier inoxydable 304 |
| Protection de surchauffe: | puissance- automatique quand la température dépasse la valeur réglée permise | Protection de sécurité: | Automatiquement mise hors tension quand le corps de four coule |
| Structure de four: | ventilateur en acier de double couche double, température de surface au-dessous de 50℃ | TAUX DE CHAUFFAGE DE MAX: | 20°C /min |
| Exactitude de la température: | ±1℃ | Uniformité de la température: | ±5℃ |
| Contrôle de température: | 50 segments programmables et contrôle automatique | Tube de four: | Tube de quartz |
| Application: | PECVD | ||
| Surligner: | four de tube tournant,four de tube de quartz |
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four de 1200C Max. Lab PECVD Tube avec la livraison et la pompe à vide de gaz
Introduction intelligente de PECVD :
Le système de PECVD est conçu pour diminuer la température de réaction de la CVD traditionnelle. Il a installé l'équipement d'induction de rf devant la CVD traditionnelle pour ioniser réagir le gaz, ainsi le plasma est produit. Le plasma de forte activité est réaction est dû accéléré au de forte activité du plasma. Ainsi, ce système s'appelle le PECVD.
Ce modèle est le produit le plus, il a synthétisé les avantages de la plupart de système du tube PECVD, et a ajouté préchauffer la zone dans l'avant du système de PECVD. Les essais ont prouvé que la vitesse de dépôt est plus rapide, qualité de film est meilleur, les trous est moins, et ne fendra pas. Le système de contrôle intelligent complètement automatique d'AISO est indépendamment conçu par notre société, il est plus commode d'utiliser et sa fonction est plus puissante.
Grand choix d'application : film de film métallique et en céramique, film composé, croissance continue de divers films. Facile d'augmenter la fonction, peut augmenter gravure à l'eau forte de nettoyage de plasma et d'autres fonctions
Caractéristique principale :
Pièces de rechange de norme :
Pièces de rechange facultatives :
Spécifications standard de four de tube de 1200℃ PECVD :
| 1. Système de chauffage | ||
| Max.temperature | 1200℃ (1 heure) | |
| La température fonctionnante | ≤1100℃ | |
| Taille de chambre | Φ100*1650mm (le diamater de tube est personnalisable) | |
| Matériel de chambre | Panneau de particules d'alumine de grande pureté | |
| Thermocouple | Type de K | |
| Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
| Contrôle de température |
segments programmables du ● 50 pour le contrôle précis du taux de chauffage, du taux de refroidissement et du temps de pause. ● établi dans la fonction d'Automatique-air de PID avec la protection cassée par thermocouple de surchauffe et cassée. Système de contrôle automatique de PLC de ● par le contrôleur de PC à l'intérieur. Le ● le système de contrôle de température, glissant le système (temps et distance) pourrait être commandé par programme. |
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| Longueur de chauffage | 440mm | |
| Longueur constante de chauffage | 200mm | |
| Élément de chauffe | Fil de résistance | |
| Alimentation d'énergie | Monophasé, 220V, 50Hz | |
| Puissance évaluée | 9kW | |
| 2. Source de plasma de rf | ||
| Fréquence de rf | 13,56 MHz±0.005% | |
| De puissance de sortie | 500W | |
| Maximum reflétez la puissance | 500W | |
| Le rf a produit l'interface | 50 Ω, de type n, femelles | |
| Stabilité de puissance | ±0.1% | |
| Composant harmonique | ≤-50dbc | |
| Tension d'alimentation/fréquence | Monophasé AC220V 50/60HZ | |
| Efficacité entière | >=70% | |
| Facteur de puissance | >=90% | |
| Méthode de refroidissement | À air forcé | |
| 3. Système de contrôle de masse de trois débitmètres de précision | ||
| Dimension externe | 600x600x650mm | |
| Type de connecteur | Joint de Swagelok solides solubles | |
| Gamme standard (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, ou personnalisable | |
| Exactitude | ±1.5% | |
| Linéaire | ±0.5~1.5% | |
| Répétabilité | ±0.2% | |
| Temps de réponse |
Propriété de gaz : Sec 1~4 ; |
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| Chaîne de pression | 0.1~0.5 MPA | |
| Max.pressure | 3MPa | |
| Interface | Φ6,1/4 » | |
| Affichage | affichage de 4 chiffres | |
| Température ambiante | gaz de la grande pureté 5~45 | |
| Indicateur de pression | - 0.1~0.15 MPA, 0,01 MPA/unité | |
| La soupape d'arrêt | Φ6 | |
| Polissez le tube de solides solubles | Φ6 | |
| Bas système de vide inclus | ||
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