Lieu d'origine: | La Chine |
Nom de marque: | Brother Furnace |
Certification: | CE |
Numéro de modèle: | BR-PECVD |
Quantité de commande min: | 1 jeu |
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Prix: | Negotiation |
Détails d'emballage: | Boîte en bois forte pour l'expédition globale |
Délai de livraison: | 7-21 jours ouvrables |
Conditions de paiement: | L / C, T / T, Western Union |
Capacité d'approvisionnement: | 200 ensembles par mois |
Température maximale: | 1200℃ | Vide normal: | -0.1Mpa |
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Vide maximum: | Pompe moléculaire de configuration, PA du vide 7x10-4 (facultative) | Bride: | bride de cachetage de l'acier inoxydable 304 |
Protection de surchauffe: | puissance- automatique quand la température dépasse la valeur réglée permise | Protection de sécurité: | Automatiquement mise hors tension quand le corps de four coule |
Structure de four: | ventilateur en acier de double couche double, température de surface au-dessous de 50℃ | TAUX DE CHAUFFAGE DE MAX: | 20°C /min |
Exactitude de la température: | ±1℃ | Uniformité de la température: | ±5℃ |
Contrôle de température: | 50 segments programmables et contrôle automatique | Tube de four: | Tube de quartz |
Application: | Le plasma a augmenté LPCVD | ||
Surligner: | four de tube tournant,four de tube de quartz |
Pièces de rechange de norme :
Pièces de rechange facultatives :
Spécifications standard fendues de four de tube du laboratoire PECVD :
1. Système de chauffage | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 heure) | |
La température fonctionnante | ≤1100℃ | |
Taille de chambre | Φ100*1650mm (le diamater de tube est personnalisable) | |
Matériel de chambre | Panneau de particules d'alumine de grande pureté | |
Thermocouple | Type de K | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Contrôle de température |
segments programmables du ● 50 pour le contrôle précis du taux de chauffage, du taux de refroidissement et du temps de pause. ● établi dans la fonction d'Automatique-air de PID avec la protection cassée par thermocouple de surchauffe et cassée. Système de contrôle automatique de PLC de ● par le contrôleur de PC à l'intérieur. Le ● le système de contrôle de température, glissant le système (temps et distance) pourrait être commandé par programme. |
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Longueur de chauffage | 440mm | |
Longueur constante de chauffage | 200mm | |
Élément de chauffe | Fil de résistance | |
Alimentation d'énergie | Monophasé, 220V, 50Hz | |
Puissance évaluée | 9kW | |
2. Source de plasma de rf | ||
Fréquence de rf | 13,56 MHz±0.005% | |
De puissance de sortie | 500W | |
Maximum reflétez la puissance | 500W | |
Le rf a produit l'interface | 50 Ω, de type n, femelles | |
Stabilité de puissance | ±0.1% | |
Composant harmonique | ≤-50dbc | |
Tension d'alimentation/fréquence | Monophasé AC220V 50/60HZ | |
Efficacité entière | >=70% | |
Facteur de puissance | >=90% | |
Méthode de refroidissement | À air forcé | |
3. Système de contrôle de masse de trois débitmètres de précision | ||
Dimension externe | 600x600x650mm | |
Type de connecteur | Joint de Swagelok solides solubles | |
Gamme standard (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, ou personnalisable | |
Exactitude | ±1.5% | |
Linéaire | ±0.5~1.5% | |
Répétabilité | ±0.2% | |
Temps de réponse |
Propriété de gaz : Sec 1~4 ; |
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Chaîne de pression | 0.1~0.5 MPA | |
Max.pressure | 3MPa | |
Interface | Φ6,1/4 » | |
Affichage | affichage de 4 chiffres | |
Température ambiante | gaz de la grande pureté 5~45 | |
Indicateur de pression | - 0.1~0.15 MPA, 0,01 MPA/unité | |
La soupape d'arrêt | Φ6 | |
Polissez le tube de solides solubles | Φ6 | |
Bas système de vide inclus |
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